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腐蚀性气体质量流量计气体配比器
腐蚀性气体质量流量计气体配比器
采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
CSC产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用LVV,CSC产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CSD产品金属表面粗糙度可达25RA。
CS产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。
CS系列产品支持±8V~±16V双电源,+14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
产品支持RS,DeviceNet通讯方式。
具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。