一、应用概述

高纯金属是现代多种高新技术的综合产物，广泛应用于半导体材料、靶材、航天材料、薄膜镀层等行业，因此其纯度及杂质元素的种类与含量对实际应用的性能影响较大，因此检测高纯金属或合金的元素种类及含量具有必要价值。高纯金属的杂质含量通常为ppm（mg/kg）级别。高纯合金通常由2种以上金属组成，其杂质含量极低。针对高纯金属（合金）的分析常采用ICP-MS等手段，但需要破坏样品，处理复杂，对前处理工艺要求较高。

高灵敏度X射线荧光光谱仪（HSXRF）能够胜任分析2N-5N的高纯金属以及高纯合金；领先的快速基本参数法，即使在欠缺标准样品情况下，也可对杂质元素准确定量。

二、核心技术

发明专利号：ZL.1

l硬件核心技术：单波长聚集激发技术-能量色散X射线荧光光谱仪（HSXRF）

1)单色化激发

X射线管出射谱经全聚焦型双曲面弯晶单色化入射样品，降低X射线管连续散射线背景干扰2个数量级以上

2)聚焦激发

能量聚焦到样品较小面，进一步增加SDD探测器接收样品元素荧光射线强度

l软件核心技术：快速基本参数法（FastFP）

1)利用基本参数库与系列先进数学模型

2)解决XRF各种效应带来的不确定性与分析误差

3)实现无需标准样品下各类样品的元素定量分析

三、性能数据

l铜合金元素含量分析

表3：铜合金元素准确性数据汇总

l高纯金分析

表4：高纯金样品测试数据

注：采购标识为.9（4N）金首饰，PHECDA-PRO，分析时间秒

四、特点优势

操作简单、分析速度快、应用范围宽、无标定量与校正。