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理化所刘静团队原子级液态金属全印刷工艺制
理化所刘静团队原子级液态金属全印刷工艺制
发布时间:2022/5/27 14:32:28
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近年来,随着芯片制程迭代越来越快,对集成度的要求越来越高,功能性器件的特征尺寸不断减小。现有硅基半导体技术逐步进入了“后摩尔时代”,半导体产业协会发布的国际半导体技术路线图表明:在经历了50多年器件微型化道路的技术研发之后,晶体管的尺寸可能将在5年以后停止缩减。与此同时,由于功能性器件特征尺寸不断减小,器件中出现的尺寸效应、量子效应、短沟道效应以及热效应等会导致器件性能下降甚至失效。因此,鉴于基于传统半导体材料的硅基功能性器件已达到极限,如何研制高集成度、高性能的功能器件成为未来发展的重要方向。二维半导体电子器件,凭借原子级的沟道厚度,高效的静电栅控,有效抑止的短沟道效应,优异的器件集成度,以及极低的静态功耗,受到了工业界与学术界的广泛
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